近日，經(jīng)上海市市場(chǎng)監(jiān)督管理局審批通過(guò)，同濟(jì)大學(xué)國(guó)家集成電路微納檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心（上海）（籌）在集成電路標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)方面取得新突破，三項(xiàng)晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)獲得國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)證書(shū)。

標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是用來(lái)衡量檢測(cè)結(jié)果是否準(zhǔn)確的“尺子”

標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是化學(xué)、生物等專業(yè)領(lǐng)域統(tǒng)一量值、開(kāi)展量值傳遞溯源的主要載體，發(fā)揮著“測(cè)量砝碼”的重要作用，是國(guó)家重要戰(zhàn)略資源。通俗地講，標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)就是用來(lái)衡量檢測(cè)結(jié)果是否準(zhǔn)確的“尺子”。比如食品檢測(cè)、醫(yī)院的化驗(yàn)報(bào)告、環(huán)境監(jiān)測(cè)的數(shù)據(jù)，這些和我們生活息息相關(guān)的檢測(cè)結(jié)果，都是靠標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)來(lái)保證準(zhǔn)確。上海市市場(chǎng)監(jiān)督管理局自2023年率先在全國(guó)承接國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)審批改革試點(diǎn)以來(lái)，通過(guò)創(chuàng)新開(kāi)展涵蓋技術(shù)能力、原始數(shù)據(jù)、計(jì)量溯源性、生產(chǎn)流程合規(guī)性等全要素現(xiàn)場(chǎng)審評(píng)，積極發(fā)揮專家“技術(shù)管家”作用，推動(dòng)和優(yōu)化“智能審批服務(wù)”“幫辦服務(wù)”“電子證書(shū)同步制發(fā)”“證書(shū)免費(fèi)郵寄送達(dá)”等舉措，讓企業(yè)感受到上海速度和溫度。

要想造得出，必先測(cè)得出，要想造得精，必先測(cè)得準(zhǔn)

集成電路制造是將數(shù)以億計(jì)的微小元器件集成在芯片上的制造體系，它不僅是信息產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)，也是高端裝備能力的重要支撐。我們?nèi)粘Ｊ褂玫氖謾C(jī)、電腦，到汽車、航天裝備等關(guān)鍵領(lǐng)域，都離不開(kāi)它的賦能。隨著集成電路制造向先進(jìn)節(jié)點(diǎn)演進(jìn)，芯片上的結(jié)構(gòu)越來(lái)越小，若把集成電路制造比作“在納米尺度上蓋摩天大樓”，那用于校準(zhǔn)量檢測(cè)設(shè)備的晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)就是“標(biāo)尺”，是提升集成電路量檢測(cè)設(shè)備能力、構(gòu)建產(chǎn)業(yè)計(jì)量技術(shù)體系的重要基礎(chǔ)。傳統(tǒng)幾何量標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)多基于小尺寸襯底加工，更適用于實(shí)驗(yàn)室場(chǎng)景，難以滿足集成電路自動(dòng)化檢測(cè)需求，因此產(chǎn)業(yè)亟需高質(zhì)量、自主可控的晶圓級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。

以同濟(jì)大學(xué)為主體，聯(lián)合張江實(shí)驗(yàn)室籌建的國(guó)家集成電路微納檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心（上海）（籌），在上海市市場(chǎng)監(jiān)督管理局指導(dǎo)推動(dòng)下，于2024年起開(kāi)展建設(shè)，是全國(guó)集成電路領(lǐng)域首批獲批籌建的國(guó)家產(chǎn)業(yè)計(jì)量測(cè)試中心之一。圍繞集成電路制造中的典型結(jié)構(gòu)與缺陷，重點(diǎn)開(kāi)展了八英寸晶圓級(jí)100 nm一維光柵標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、八英寸晶圓級(jí)200 nm二維柵格標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)、八英寸晶圓級(jí)100 nm凹陷缺陷標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的研制與應(yīng)用研究。

此次獲證的標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可為CD-SEM、AFM、缺陷檢測(cè)設(shè)備等集成電路量檢測(cè)設(shè)備提供可靠的量值標(biāo)準(zhǔn)，有效支撐周期測(cè)量、角度測(cè)量及典型缺陷檢測(cè)等應(yīng)用需求。同時(shí)該標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)可以幫助我國(guó)量檢測(cè)設(shè)備企業(yè)與晶圓制造廠解決“測(cè)不準(zhǔn)、測(cè)不精、測(cè)不全”的產(chǎn)業(yè)難題，對(duì)提升我國(guó)集成電路微納檢測(cè)設(shè)備的計(jì)量測(cè)試能力、完善產(chǎn)業(yè)計(jì)量技術(shù)體系具有重要支撐意義。

上海持續(xù)深化標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)許可改革 服務(wù)新質(zhì)生產(chǎn)力發(fā)展

2023年，上海在全國(guó)率先獲得國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定級(jí)鑒定審批權(quán)，在浦東新區(qū)和奉賢區(qū)試點(diǎn)，頒出全國(guó)首張省級(jí)市場(chǎng)監(jiān)管部門(mén)審批的國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)定級(jí)證書(shū)。2025年7月，市場(chǎng)監(jiān)管總局充分肯定上海改革成果，將二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)改革推廣復(fù)制至上海全域以及內(nèi)蒙古、湖南和四川部分地區(qū)。在新修訂的《標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)管理辦法》中明確，二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的審批權(quán)事權(quán)由國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)管總局下放至省級(jí)市場(chǎng)監(jiān)管部門(mén)。

試點(diǎn)以來(lái)，上海頒發(fā)國(guó)家二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)證書(shū)41張覆蓋標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)56項(xiàng)。標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)上市進(jìn)度加快進(jìn)一步吸引產(chǎn)業(yè)上下游企業(yè)加入標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研發(fā)產(chǎn)業(yè)鏈，推動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研制生產(chǎn)和產(chǎn)業(yè)組織方式不斷創(chuàng)新，尤其對(duì)上海集成電路、生物制造、生命健康、先進(jìn)材料等先導(dǎo)、重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)有積極意義。比如滅活基孔肯雅病毒標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)是國(guó)內(nèi)首個(gè)針對(duì)該病毒的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)，為疫情防控提供重要支撐。

赭曲霉毒素純度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)行業(yè)空白，推進(jìn)了真菌毒素標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。紫外、可見(jiàn)光區(qū)波長(zhǎng)溶液標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)既可廣泛應(yīng)用于制藥、醫(yī)療、食品、環(huán)保等行業(yè)的檢測(cè)領(lǐng)域，也是國(guó)內(nèi)首個(gè)紫外可見(jiàn)全波長(zhǎng)檢定/校準(zhǔn)溶液標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)。中國(guó)倉(cāng)鼠卵巢（CHO）細(xì)胞基因組DNA標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)有助于提高產(chǎn)業(yè)鏈中DNA殘留量檢測(cè)的準(zhǔn)確度，提升抗體藥物、重組蛋白藥物、疫苗等生物制品生產(chǎn)公司的產(chǎn)品質(zhì)量，有利于解決生物制品生物安全問(wèn)題以及國(guó)際貿(mào)易中的技術(shù)壁壘問(wèn)題。